レーザ検査装置

レーザ検査装置[Laser Inspection]
レーザ光の特徴を利用して、
傷や表面形状を検査する装置」の開発についてご紹介します。

例えば・・・
人手(目視)では検査が難しい「内面の傷検査」がありますが、熟練検査スタッフに頼らなくても、正確に 簡単に検査できます!

レーザ検査装のベネフィット(嬉しいこと)

レーザ光の特徴

下記の開発例(傷検査装置)をご覧になって、
『レーザ光を使ったこんな装置があったら良いな』など、アイデアがありましたらぜひお気軽にご相談ください!

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開発Index・・・
 ・・【 内面傷検査装置 】
 ・・【 外面傷検査装置 】
 ・・【 内面(ハンディー)傷検査装置 】
 ・・【 平面傷検査装置 】
 ・・【 番外編 * 自由曲面形状計測装置 】



内面傷検査装置

開発: 2000年~
レーザ光の直接反射光と回折光とを分離検出することで、内面の微小な傷から鋳巣チュウソウ ※1などの多様な傷欠陥を、非破壊・非接触で検出できます。

使用例としては、自動車用エンジンのシリンダーボア(穴のこと)内面の、クロスハッチ※2加工品質評価などに適用できます。
  • ※1 鋳巣(ちゅうそう)とは、ダイキャスト内部に存在する空洞のこと。
  • ※2 溝に油を貯え油膜を保持するために、シリンダー内壁面にわざと傷(十字の条痕)をつける加工方法のこと。

  •  傷検出精度 0.1mm程度
  •  プローブ回転数 15,000rpm(revolution per minute / 回転毎分)
  •  検査対象の内径 φ8mm より大きければ検査可能

内面傷検査装置の説明


外面傷検査装置

開発: 2000年~2012年
円筒状の検査対象ワークを回転させて、そこにレーザ光を照射します。
跳ね返ってくる光の量を検出することで、円筒状の外面の傷を検査する装置です。

実績としては、透明な円筒状ワークの“透過度”を測定する検査に適用しました。


内面傷検査装置(ハンディータイプ)

開発: 2011年
手で装置を持って検査するタイプの、内面傷検査装置です。
スイッチを押すとプローブが自動で伸び、引っ込む際に回転しながら反射光量を検出し、画像化します

内面傷検査装置(ハンディータイプ)の説明
▼ 内部で高速回転するレーザ光の動きを、ぜひご覧ください![12秒]


平面傷検査装置

開発: 2008年
レーザを振り光ファイバーの束でその反射光を取得することで、平面の傷を検査する装置です。
「傷が多くあれば光が多く」、「傷が少なければ光が少なく」返ってくることで、平面の傷の状態が分かります。

※レーザを振る装置には、ガルバノミラー または ロータリースキャンミラーを使用


平面傷検査装置の説明
▼ センサ構造・計測のしくみ  画像をクリックすると、拡大表示できます
平面傷検査装置のセンサ構造
レーザスキャナから高速に照射されたレーザ光を、平面鏡・曲面鏡を介して検査対象面に垂直照射します。
反射して戻ってきた光をファイバー束で集光し、画像化しています。


▼ 検査例  画像をクリックすると、拡大表示できます
平面傷検査装置の検査例【1】
平面傷検査装置の検査例【2】


番外編 過去のユニークなレーザ装置

開発: 1996年~1997年
過去にもレーザを使った独自開発をしており、当時としては画期的でユニークなものでした!
これは、球面などの(自由曲面)形状を計測する装置です。


自由曲面形状計測装置の製品画像

自由曲面形状計測装置の各部説明
PSD【 Position Sensitive Detector 】
スポット光の位置センサ(位置検出素子)のこと。光の強度を検出して電気信号に変換する、『受光素子』のひとつ。

▼ 仕組み
自由曲面形状計測装置の仕組み

***  開発こぼれ話 ***

ちなみに、この開発で最も難しかったのは「回転しているところにボード(基板)があったことで、通常のように電気信号を送る線を繋げられなかったところ」、だそうです。 そこで基板の中心に「同芯円状のパターン」を設け、「ブラシ」とつなげることで電気信号を送るように設計したそうです。

このような過去の技術が、現在の開発へとつながっております!


レーザ検査装置についてご質問などありましたら、ぜひこちらからお問い合わせください!

お問い合わせはこちら >

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