レーザ光の直接反射光と回折光とを分離検出することで、内面の微小な傷から鋳巣（チュウソウ） ^※1などの多様な傷欠陥を、非破壊・非接触で検出できます。

使用例としては、自動車用エンジンのシリンダーボア(穴のこと)内面の、クロスハッチ^※2加工品質評価などに適用できます。

• ※1　鋳巣(ちゅうそう)とは、ダイキャスト内部に存在する空洞のこと。
• ※2　溝に油を貯え油膜を保持するために、シリンダー内壁面にわざと傷(十字の条痕)をつける加工方法のこと。

• 　傷検出精度　0.1mm程度
• 　プローブ回転数　15,000rpm(revolution per minute / 回転毎分)
• 　検査対象の内径　φ8mm より大きければ検査可能

円筒状の検査対象ワークを回転させて、そこにレーザ光を照射します。
跳ね返ってくる光の量を検出することで、円筒状の外面の傷を検査する装置です。

実績としては、透明な円筒状ワークの“透過度”を測定する検査に適用しました。

手で装置を持って検査するタイプの、内面傷検査装置です。
スイッチを押すとプローブが自動で伸び、引っ込む際に回転しながら反射光量を検出し、画像化します。

レーザを振り^※光ファイバーの束でその反射光を取得することで、平面の傷を検査する装置です。
「傷が多くあれば光が多く」、「傷が少なければ光が少なく」返ってくることで、平面の傷の状態が分かります。

※レーザを振る装置には、ガルバノミラー または ロータリースキャンミラーを使用

過去にもレーザを使った独自開発をしており、当時としては画期的でユニークなものでした！
これは、球面などの(自由曲面)形状を計測する装置です。