レーザ検査装置

レーザ検査装置[Laser Inspection]

レーザ光 をワークに当てて反射してくる光を解析する事によって、ワークの微小な傷や表面性状を検査する事ができます。

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レーザ検査の様子(内径)
※「レーザ光」は小さいスポットに絞れて回折光が出やすい、などの特徴があります。

現段階では、下記のような検査の実績があります。

  • 棒状の細いプローブによる径8mmからの内径検査
  • 円柱状のワークを検査する外径検査
  • レーザ光をガルバノミラーやロータリースキャンミラーで検査する平面検査

【ハンディータイプのレーザ検査装置】
 手で持って検査するタイプの、小径穴用レーザ検査装置
レーザ検査装置(ハンディ)

【内径を検査する、レーザ検査装置】
レーザ検査の様子(内径)

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