空気中の微粒子を測る「気中パーティクルカウンター」の他に、液体中の不純物を測る「液中（油中）パーティクルカウンター」もあります。
 
大きさのタイプとしては、片手で持てる小型軽量のハンドヘルド型と据え置き型などがあります。
 
 

サンプリングした空気中の粉じんにレーザー光を照射して生じる散乱光をとらえることで、散乱光量を電気信号に変換する仕組みです。

★粒子の大きさによって電気信号の大きさが異なります
★粒子個々の信号を検出して、検出した数をカウントします

 
そして、測ることができる粒子径は機種ごとに決まっています。
 
クリーンルームの清浄度クラスより高感度すぎる機種を選択すると「同時通過損失」が発生してしまうため、正しく測ることができません。
 
ですので、基準となる清浄度クラスに合ったパーティクルカウンターを選ぶことが一番大切です。
 
その上で、空気流量の大きい機種は小さい機種より、計測値が大きくなるため信頼性が高まります。
 
 

 

★「クリーンルームの清浄度クラス（粒子径）に応じた機種」を選択すること
基準クラスよりも高感度すぎるのは、計数損失になる可能性がありNG。
（例）0.5μｍの粒子を基準とするクリーンルーム
→0.1μｍも計測できる機種を選んでしまうと、上限濃度を超える
 
★計数値 ＝ 大きい方が誤差が少ない
　→長時間測定する
　→吸引流量の大きな機種を選ぶ
 
★高濃度を測定する場合
希釈して損失が起きていないか確かめると良い
 

通常は、

• 環境汚染や労働衛生向けに総重量換算で測定するものを「粉塵計」
• クリーンルームで微粒子を個数でカウントするものを「パーティクルカウンター」

と呼んで区別されています。

クリーンルームの清浄度はISOで規格が定められており、規格に沿ったパーティクルカウンターを利用することが書かれています。

ですので、パーティクルカウンターはクリーンルームには必須！なのですね。

[規格について]

★クリーンルームの清浄度規格（ISO04644-1：2015）
→その中の［測定器の校正］では、ISO 21501-4：2007に基づく校正を規定
　　　　　　　　　　　　　　

★【ISO 21501-4：2007】を基に作成されたのが、日本工業規格　JIS B9921[光散乱式気中粒子計数器−校正方法及び検証方法]

使っていくうちに例えば、センサのレベルが落ちたりポンプが弱まったりしてくるからです。

以下のような消耗品が例としてあります。

日本システムデザイン(株)では月に平均すると10台くらい校正を行っています。校正は、専用の部屋に設置されたクリーンベンチ^※で行います。
 

 
また、お客様のところに設置してあるクリーンルームへ直接お伺いして校正作業を行うこともあります。