パーティクルカウンター（パーティクルカウンタ）とは、空気中や液体中にある目に見えない埃や微粒子、不純物などを計測する機械のことです。
 
「微粒子測定器」「微粒子計」とも呼ばれ、主にクリーンルーム^※で利用されます。
 

 
空気中の微粒子を測る「気中パーティクルカウンター」の他に、液体中の不純物を測る「液中（油中）パーティクルカウンター」もあります。
 
大きさのタイプとしては、片手で持てる小型軽量のハンドヘルド型と据え置き型などがあります。
 
 

パーティクルカウンターはどんな仕組みで計測しているのか、どんな場面で使われるのかについて見ていきます。

パーティクルカウンターは、粒子の大きさに比例した電気信号を捉える事で「粒子径」と「粒子数」を計測します^※。
※ここでは光散乱方式についての説明です

サンプリングした空気中の粉じんにレーザー光を照射して生じる散乱光をとらえることで、散乱光量を電気信号に変換する仕組みです。

光散乱方式のパーティクルカウンターでは、「同時通過損失」が起こる可能性があるので誤差が少なくなるように最適な機械を選ぶ必要があります。
 
パーティクルカウンターには計測できる最大可測粒子濃度（上限濃度）があり、予想される濃度の5～10倍以上の最大可測粒子濃度を選択することが望ましいとされています。

 
そして、測ることができる粒子径は機種ごとに決まっています。
 
クリーンルームの清浄度クラスより高感度すぎる機種を選択すると「同時通過損失」が発生してしまうため、正しく測ることができません。
 
ですので、基準となる清浄度クラスに合ったパーティクルカウンターを選ぶことが一番大切です。
 
その上で、空気流量の大きい機種は小さい機種より、計測値が大きくなるため信頼性が高まります。
 
 

パーティクルカウンターと同じようなものに、粉塵計（ふんじんけい）がありますが違いはどんなところでしょうか？
 
通常は、

• 環境汚染や労働衛生向けに総重量換算で測定するものを「粉塵計」
• クリーンルームで微粒子を個数でカウントするものを「パーティクルカウンター」

 
と呼んで区別されています。
 

 
 
クリーンルームの清浄度はISOで規格が定められており、規格に沿ったパーティクルカウンターを利用することが書かれています。
ですので、パーティクルカウンターはクリーンルームには必須！、ということですね。
 

パーティクルカウンターは、校正（メンテナンス）が必要で、JIS B 9921では「校正周期は１年以内が良い」と書かれています。
 
使っていくうちに例えば、センサのレベルが落ちたりポンプが弱まったりしてくるからです。
 
 
以下のような消耗品が例として挙げあられます。

 
日本システムデザイン(株)では月に平均すると10台くらい校正を行っています。校正は、専用の部屋に設置されたクリーンベンチ^※で行います。
 

 
また、お客様のところに設置してあるクリーンルームへ直接お伺いして校正作業を行うこともあります。